재료공학 - 면저항 측정(measurement) 實驗(실험)
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작성일 19-10-07 16:32
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유리에서는 저항과 면저항이 측정 되지 않았는데, 그 이유는 유리는 잘 알려진 절연체이기 때문이다 면저항을 측정하는 이유는, 아마도 면저항을 측정함으로써 그 물질의 순도를 높일 수 있기 때문일 것이라 추측된다된다. 또 다른 방법으로는 3가나 또는 5가의 원소를 더 많이 doping함으로써 면저항 값을 낮출 수도 있다고 한다.
우리는 실험 시 자동화 장치를 사용 하였는데, 끝에 4개의 탐침이 보였다.
순서
1. 實驗(실험)목적 : 면저항의 개념(槪念)을 알고, 직접 면저항을 측정(measurement)해봄으로써 면저항을 측정(measurement)하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다.
이번실험에서는 면저항을 4-Point probe method의 방법으로 측정하여 알아보는 것을 하였는 데, 실험을 통해 면저항 측정 두가지 방법에 대해 알게 되었고, 그중 우리가 실험한 4-Point probe method방법에대해 더 자세히 알게 되었다, 조사를 통해, 면저항의 정의(定義)가 얇은 막의 저항 값을 특징짓는 지표로, 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시 된다는 것을 조사를 통해 알게 되었고, 또 이 면저항을 왜 측정하는지에 대한 이유도 알게 되어, 뜻깊은 실험이엿다. 교수님의 理論(이론)을 들은 후, 직접 실험실에서 장비를 접해보니 좀더 이해가 쉬웠다. 면저항 값이 작으면 작을수록 물질의 순도는 높은 %를 나타낼 것이다. 장치에 측정할 값들을 정해주자 자동으로 장치에서 저항과 면저항이 계산되어 나타내어 졌다.
재료공학,면저항
우리가 한 실험은 면저항 측정방법 중 두 번째 理論(이론)인 4-Point probe method 실험이었다. 저항이라는 것은 고등학교 수업시간 많이 접했지만, 면저항에 관련되어는 잘 알지 못하였다.
다. 따라서 좀 더 순수한 물질에 가까운 값을 얻으려면 면저항을 줄여야 한다.
1. 실험목적 : 면저항의 개념을 알고, 직접 면저항을 측정해봄으로써 면저항을 측정하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다.
4-Point probe method은 면저항 측정시에 가장 많이 쓰이는 방법으로, 반도체 공정에 쓰이는 박막의 저항을 측정하여 좀 더 쉬운 방법으로 저항을 낮추기 위해 옴의 법칙으로 환산하여 적용한 것이다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다.
면저항을 줄이는 방법으로는 carrier의 농도를 높여주거나, 온도를 높이거나 낮추어 줌으로써 가능하다고 한다. 2. 이론 면저항은 얇은 박막의 저항을 측정하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다.
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2. theory
재료공학 - 면저항 측정(measurement) 實驗(실험)
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면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(measurement)하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다.
설명
이번 실험은 우리가 일상적으로 배우던 옴의 법칙을 기초로 저항과 면저항 값을 구해 보는 실험이였다.
