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[Engineering기술] 리소그래피

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작성일 19-12-27 18:43

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[Engineering기술] 리소그래피

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레포트/공학기술



제 목 : 리소그래피 관련







1. 리소그래피

리소그래피(Lithography)는 반도체 직접회로를 만들 때 회로의 패턴을 기록하는 방식, 즉 전사(傳寫 : 배껴적음) 기법을 말한다. 고직접회로가 가능하게 된 것은 크고 복잡한 전자 회로를 아주 작은 크기로 축소하여 실리콘 웨이퍼 위에 옮길 수 있게 되면서다.

리소그래피 기본 원리는 우리가 사진을 찍는 것과 비슷하다.
REPORT 73(sv75)


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