[工學] Epitaxy(LPE,VPE,MBE)
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작성일 19-12-14 04:53
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Epitaxy 공정법중 LPE(Liquid Phase Epitaxy)와 VPE(Vapor Phase Epitaxy), MBE(Moleculer Beam Epitaxy)의 원리와 장단에 대해서 설명(explanation)하였다.
2. 증착속도가 대단히 느리기 때문에 단원자층 두께로 박막을 제어할 수 있다
다. 1. LPE 공정원리 2. LPE 장단점 3. VPE 공정원리 4. VPE 장단점 5. BME 공정원리 6. BME 장단점
4. 기판에 도달한 분자들이 충분한 표면이동을 할 수 있기 때문에 큰 면적에서 원자단위 정도의 균일하고 평탄한 막을 얻을 수 있다.
Epitaxy 공정법중 LPE(Liquid Phase Epitaxy)와 VPE(Vapor Phase Epitaxy), MBE(Moleculer Beam Epitaxy)의 원리와 장단에 대해서 설명하였다.
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1. LPE 공정원리
순서
[工學] Epitaxy(LPE,VPE,MBE)
3. VPE 공정원리
설명
MBE advantage
2. LPE 장단점
LPE, VPE, MBE, Epitaxy
3. 각 증착된 셀에 있는 기계공학적인 셔터나 각 셀의 온도를 제어함으로써 성장방향의 혼정조成分포, 불순물 도핑의 분포를 고정밀도로 제어 가능
6. BME 장단점
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5. 결정 성장 중에 성장층의 표면 혹은 분자선에서 성장조건에 대한 여러가지 정보를 In-Situ장비로 관찰할 수 있어 성장제어에 feed-back 시킬 수 있다
6. MBE는 크기가 균일하고 우수한 광학 property(특성)을 갖고 있어, 나노 트랜지스터나 나노 레이저, 메모리 등 나노 소자 제작에 필요한 나노 와이어의 핵심 기술이다.
1.초고진공을 사용하기 때문에 챔버내 잔류불순물의 부착이 매우적어 고순도의 박막을 얻을 수 있다.
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5. BME 공정원리
4. VPE 장단점
7. 성장 속도는 느리지만 품질이 우수한 advantage이 있다.
